[发明专利]光刻机照明系统偏振测量用光学系统

摘要

一种光刻机照明系统偏振测量用光学系统，沿其光轴方向依次包括：孔径光阑、成像物镜、波片、检偏器、中继物镜、像传感器，本发明能满足像传感器尺寸和大视场角、后工作距较长、波片和检偏器的位置与尺寸的要求，结构紧凑，并且球差、象散、场曲、畸变、波像差都得到很好的校正。

主权项

一种光刻机照明系统偏振测量用光学系统，沿其光轴方向依次包括：孔径光阑、成像物镜、波片、检偏器、中继物镜、像传感器，其特征在于，孔径光阑平面位于所述的成像物镜的前焦面，所述的波片位于成像物镜的后焦面，所述的像传感器的光敏面位于所述的中继物镜的像面位置，所述的成像物镜包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜，所述的第一透镜、第二透镜和第四透镜是凹面朝向孔径光阑面的弯月透镜，第三透镜是凹面朝向像平面的弯月透镜，第五透镜为双凸透镜，所述的中继物镜包括第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜和第十一透镜，所述的第七透镜、第八透镜、第九透镜和第十透镜为弯月透镜，第六透镜和第十一透镜为双凸透镜，所述的第八透镜和第十透镜的凹面朝向孔径光阑面，第七透镜和第九透镜的凹面朝向像平面，所述的第六透镜和第十一透镜具有正光焦度，第七透镜、第八透镜、第九透镜和第十透镜具有负光焦度，且所述每一透镜的光学表面均为球面。