[发明专利]探针卡及其制造方法有效
申请号: | 201310303035.8 | 申请日: | 2013-07-18 |
公开(公告)号: | CN103675369A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 李忠哲;吴坚州;陈宗毅;陈明祈 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073;G01R3/00 |
代理公司: | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 | 代理人: | 王正茂;丛芳 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种探针卡,用以与多个探针抵接;探针卡包含有基板、至少两个IC载板以及多个探针垫;其中,IC载板设于基板上,且间隔预定距离;各IC载板上具有多个导接点;探针垫分别镀设于IC载板上,且分别与各导接点连接,而遮蔽各导接点,并在各IC载板上围成布针区;探针垫用以分别与探针抵接。另外,本发明还公开了探针卡的制造方法。 | ||
搜索关键词: | 探针 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种探针卡,用以与多个探针抵接;其特征在于,该探针卡包含有:基板;至少两个IC载板,其设于上述基板上,且间隔预定距离;上述各IC载板上具有多个导接点;以及多个探针垫,其分别镀设于上述IC载板上,且分别与上述各导接点连接,而遮蔽上述各导接点,并在上述各IC载板上围成布针区;上述探针垫用以分别与各探针抵接;另外,相邻的上述IC载板的上述布针区之间的间隙,大于各上述布针区的宽度。
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