[发明专利]一种积累氦质谱粗漏细漏组合检测元器件密封性的方法

摘要

本发明公开了一种积累氦质谱粗漏细漏组合检测元器件密封性的方法，给出了根据被检件的严密等级τHemin、内腔容积、表面吸附氦漏率以及检漏历史，选择相应压氦预充氦方式并选择固定或灵活方案，选择粗漏检测测量漏率判据的方法；定量设计细漏检测最长检测时间和测量漏率判据的方法；实施组合检测的程序，包括去除吸附氦，确定粗漏检测的开始取值时间和最长检测时间，确定开始细漏积累检测的时间，及补充检测更大粗漏的要求。本发明的有益效果为：既可以避免组合检测过程的粗漏漏检，又可以在大部分内腔容积范围增大最长候检时间，从而使吸附漏率的去除能满足细漏检测测量漏率判据要求，使积累氦质谱粗漏细漏组合检测更具适用性和可操作性。

主权项

一种积累氦质谱粗漏细漏组合检测元器件密封性的方法，包括步骤S1选择，其特征在于，根据被检件的内腔容积和严密等级τHemin，选择检测的压氦或预充氦方式，并依据被检件内腔容积、表面吸附漏率及其去除速度和带检测盒时检漏仪的漏率本底，选择粗漏检测的测量漏率判据R0max：对高严密等级（τHemin=2000d）或较高严密等级（τHemin=200d）的组合检测，当被检件内腔容积≥0.06cm3时，初次检测优先选择压氦法，再次检测选择多次压氦法；当被检件内腔容积≤0.6cm3时，初次检测优先选择预充氦法，再次检测选择预充氦压氦法；对压氦法和预充氦法，优先选择固定方案；对预充氦法和压氦法固定方案，对微小型被检件选择R0max为1.42×10‑5Pa·cm3/s，对中等或较大被检件选择R0max为1.42×10‑4Pa·cm3/s；对预充氦法和压氦法灵活方案，对预充氦压氦法和多次压氦法，R0max可在1.42×10‑5Pa·cm3/s～1.42×10‑4Pa·cm3/s间选择。