[发明专利]一种MEMS高灵敏度横向加速度计及其制造工艺有效
| 申请号： | 201310304676.5 | 申请日： | 2013-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN104297521B | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 孙晨;于连忠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司11137 | 代理人： | 林建军 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种MEMS高灵敏度横向加速度计，包括测量体、与所述测量体相连接的上盖板以及下盖板；所述测量体包括框架、位于所述框架内的质量块，所述质量块与所述框架之间通过多根弹性梁相连接；所述质量块与所述框架之间设置有相对的梳状耦合结构；所述质量块在水平方向上移动，所述梳状耦合结构用于检测水平方向上的加速度。本加速度计对水平方向上的加速度检测精度高，而且制作工艺简单，对盖板的材料要求低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 灵敏度 横向 加速度计 及其 制造 工艺 | ||
【主权项】：
一种MEMS高灵敏度横向加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板以及下盖板；所述测量体采用包括有上硅层及下硅层的绝缘体上外延硅结构，每层硅层之间分别设置有氧化埋层；所述测量体包括框架、位于所述框架内的质量块，其特征在于，所述质量块和所述框架由两块绝缘体上外延硅硅片背对背硅‑硅键合而成；所述质量块与所述框架之间通过多根弹性梁相连接；所述质量块与所述框架之间设置有相对的梳状耦合结构；在所述质量块的上半部分及下半部分都相应地对称设置有多根弹性梁，在所述框架和所述质量块的上半部分及下半部分都设置有梳状耦合结构；所述质量块在水平方向上移动，所述梳状耦合结构用于检测水平方向上的加速度。
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