[发明专利]用于软光刻的硅酮橡胶材料有效
| 申请号： | 201310304856.3 | 申请日： | 2009-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN103365077A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | M.A.弗舒伦 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李亚非;汪扬 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于形成硅酮橡胶类材料的成套部件及其用途，由该成套部件形成的组成，以及硅酮橡胶类材料。该硅酮橡胶类材料适合用于软光刻，因为它使得能够实现在衬底上获得的纳米范围内的尺寸的稳定特征，并且还允许容纳在粗糙和不平坦的衬底表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 硅酮 橡胶材料 | ||
【主权项】：
一种用于形成硅酮橡胶类材料的成套部件，该成套部件包括：第一组成，其包括聚硅氧烷前驱体，该聚硅氧烷前驱体包括至少一种功能T型支链和/或功能Q型支链聚硅氧烷前驱体，其中所述至少一种功能T型支链聚硅氧烷前驱体选自由下述组成的群组：氢化物功能T型支链聚硅氧烷前驱体、乙烯基功能T型支链聚硅氧烷前驱体及其混合物，并且/或者其中所述至少一种功能Q型支链聚硅氧烷前驱体选自由下述组成的群组：氢化物功能Q型支链聚硅氧烷前驱体、乙烯基功能Q型支链聚硅氧烷前驱体及其混合物；以及第二组成，其包括氢化物功能线性聚硅氧烷和乙烯基功能线性聚硅氧烷的混合物，其中所述至少一种乙烯基功能线性聚硅氧烷是至少5%的乙烯基功能。
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