[发明专利]抗蚀剂膜清洗组合物在审
| 申请号： | 201310305473.8 | 申请日： | 2013-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN103425001A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 杨桂望 | 申请（专利权）人： | 杨桂望 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于脱除残留的抗蚀剂和脱膜剂清洁组合物，其包括有机胺化合物，有机溶剂，防腐剂和水。本发明提供的清洁组合物，其清洁效果优异，不易产生腐蚀金属膜层，并且能够替代以往的醇类化合物，从而解决引火性，存储性及环境方面的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂膜 清洗 组合 | ||
【主权项】：
一种用于脱除残留的抗蚀剂和脱膜剂清洁组合物，其特征在于：包括有机胺化合物，有机溶剂，防腐剂和水。
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