[发明专利]一种改善48所M42300-1/UM型等离子体刻蚀机刻蚀效果的辅助工艺

摘要

本发明公开了一种改善48所M42300-1/UM型等离子体刻蚀机刻蚀效果的辅助工艺，涉及48所M42300-1/UM型等离子体刻蚀机，属于太阳能电池制造领域。该工艺步骤包括(1)、关闭自动模式切换手动模式(2)、打开预抽(3)、打开主抽(4)、清洗20min(5)、关闭清洗(6)、关闭主抽(7)、关闭预抽(8)、充气(9)、充气(10)、手动模式切换自动模式。说明书对该工艺工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。

主权项

一种改善48所M42300‑1/UM型等离子体刻蚀机刻蚀效果的辅助工艺，工艺步骤包括(1)、关闭自动模式切换手动模式(2)、打开预抽(3)、打开主抽(4)、清洗20min(5)、关闭清洗(6)、关闭主抽(7)、关闭预抽(8)、充气(9)、充气(10)、手动模式切换自动模式。其特点在于：通过氮气清洗机体排除机体内的残余废气，有效预防刻蚀黑线的形成，降低漏电率。