[发明专利]一种纳米氧化锌定向阵列的制备方法有效
| 申请号： | 201310306421.2 | 申请日： | 2013-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN103395823A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 钟敏 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | C01G9/02 | 分类号： | C01G9/02;B82Y40/00;C23C18/12 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及纳米氧化锌定向阵列的制备方法，该方法将Zn盐水溶液和聚乙烯基吡咯烷酮水溶液的混合液作为反应溶液，滴加氨水调节溶液的pH值，将表面极化处理过的抛光清洁硅（100）衬底水平浸入此混合溶液中，保温一段时间，取出硅片，经氧化烧结，清洗，于空气中晾干，得到纳米氧化锌阵列。采用本发明方法可大面积快速制备高取向、高纯度的均匀分布的纳米氧化锌阵列，并且形貌可控，生长对衬底不具有选择性，可在低温环境下制备，工艺简单，成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 氧化锌 定向 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米氧化锌定向阵列的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将0.1mol/L~0.5mol/L的Zn盐水溶液和质量浓度1%~1.5%的聚乙烯基吡咯烷酮水溶液按Zn2+/聚乙烯基吡咯烷酮摩尔比为2：1～1：2混合，得到混合溶液；(2)将氨水滴入步骤(1)制备的混合溶液中，调节混合溶液的pH值为10~11，得到聚乙烯基吡咯烷酮‑Zn(OH)2络合溶液；(3)将表面极化处理过的抛光洁净硅（100）衬底水平浸入步骤(2)配置好的聚乙烯基吡咯烷酮‑Zn(OH)2络合溶液,保温3h，取出硅片;(4)将步骤(3)取出的硅片放在刚玉舟上，置于管式炉中，在20ml/min~60ml/min的氧气流速下，以5℃/min的加热速率升温到420℃氧化烧结0.5~1.5h；(5)硅片自然降温至室温后用90℃去离子水反复冲洗，于空气中晾干，得到纳米氧化锌定向阵列。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国计量学院，未经中国计量学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310306421.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
