[发明专利]模块化加热器系统有效
| 申请号： | 201310306776.1 | 申请日： | 2010-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN103363239A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | E·埃利斯;T·R·博尔顿;J·R·林德利 | 申请（专利权）人： | 沃特洛电气制造公司 |
| 主分类号： | F16L53/00 | 分类号： | F16L53/00;H05B3/50;H05B3/58 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种加热器系统，其包括混合式绝缘盖部，该绝缘盖部具有围绕铰接的承载构件和伴热节段设置的第一盖部、以及与第一盖部可操作地接合且适于围绕加热目标和其变化的几何形状可拆卸地设置的第二盖部。还设有具有与第二盖部相似结构的柔性绝缘护套以用于与连接器组件一起使用。另外，提供一种加热器系统，其包括至少一个伴热节段，该至少一个伴热节段被包覆在相邻的绝缘构件内以用于加热半导体加工系统的输气管线和泵吸管线。 | ||
| 搜索关键词： | 模块化 加热器 系统 | ||
【主权项】：
一种加热器系统，所述加热器系统包括：至少一个伴热节段；第一绝缘构件，所述第一绝缘构件与所述伴热节段相邻设置；第二绝缘构件，所述第二绝缘构件与所述第一绝缘构件相对且与所述伴热节段相邻设置，所述第一和第二绝缘构件彼此紧固且包覆所述伴热节段。
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