[发明专利]高精度配气仪

摘要

本发明公开了一种高精度配气仪，包括稀释气体入口、VOC气体取样装置、循环气泵、气缸和注射泵；VOC气体取样装置包括小容器、液体挥发容器、隔热套环和气体输出接口；小容器与液体挥发容器连接，隔热套环套在液体挥发容器顶部，气体输出接口与隔热套环连接；注射泵包括注射器、丝杆和电机，丝杆与注射器活塞连接；稀释气体入口通过气管Ⅲ与气缸的进气口连接，气缸的出气口与混合气体出气管连接；循环气泵连接在气缸的进气口和出气口之间。该高精度配气仪采用VOC气体取样装置获得待配标准气体，通过循环气路混合气体，采用高精密的注射泵抽取或注射气体，即通过一次完整的配气过程，标准气体的浓度即可稀释至ppb级别，操作方便、简单。

主权项

高精度配气仪，其特征在于：包括稀释气体入口（1）、VOC气体取样装置（2）、循环气泵Ⅰ（3）、气缸（4）和注射泵（5）；所述VOC气体取样装置（2）包括小容器（21）、液体挥发容器（22）、隔热套环（23）和气体输出接口（24）；所述小容器（21）通过液流导管（25）与液体挥发容器（22）连接，在液体挥发容器（22）的外壁设置加热片，所述隔热套环（23）套在液体挥发容器（22）的顶部，气体输出接口（24）的一端连接在隔热套环（23）上并通过隔热套环（23）与液体挥发容器（22）内连通，气体输出接口（24）的另一端通过气管Ⅰ与气缸（4）的进气口连接；所述注射泵（5）包括注射器（51）、丝杆（52）和驱动丝杆（52）沿其轴向移动的电机（53），所述丝杆（52）与注射器（51）的活塞连接，所述注射器（51）的针管通过气管Ⅱ与气缸（4）的进气口连接；所述稀释气体入口（1）通过气管Ⅲ与气缸（4）的进气口连接，所述气缸的出气口与混合气体出气管（6）连接；所述循环气泵Ⅰ（3）的进气口通过气管Ⅳ与气缸（4）的进气口连接，所述循环气泵Ⅰ（3）的出气口通过气路Ⅴ与气缸（4）的出气口连接；所述气管Ⅰ上安装有气泵Ⅱ（7），所述气管Ⅱ上安装有气阀Ⅰ（8），所述气管Ⅲ上安装有气泵Ⅲ（9），所述气缸（4）的进气口安装有气阀Ⅱ（10），气缸（4）的出气口安装有气阀Ⅲ（11）。