[发明专利]一种改进型扩散炉尾气排放装置有效
| 申请号： | 201310310760.8 | 申请日： | 2013-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN103374757A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 范志东;马继奎;汤欢 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 陆林生 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改进型扩散炉尾气排放装置，包括第一气体缓冲瓶、排风设备以及压力监测设备和氮气补偿设备，压力监测设备与氮气补偿设备之间单向连接，第一气体缓冲瓶的一端经由依次顺序连接的第二气体缓冲瓶，…，第N气体缓冲瓶之后与排风设备相连接；压力监测设备设于氮气补偿设备所在的气体缓冲瓶之后的任一气体缓冲瓶上或气体缓冲瓶之间的连接管上。本发明在原有设备的基础上，增加了气体缓冲瓶的数量，调整了压力监测装置的位置，使得气体补偿不再滞后，可直接降低排风设备的波动对石英管内气流的影响，有利于维持石英管内气流稳定性，达到保障扩散石英管内气流的恒压的目的，增加工艺的稳定性，保证了方块电阻的均匀性和PN结的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进型 扩散 尾气 排放 装置 | ||
【主权项】：
一种改进型扩散炉尾气排放装置，包括第一气体缓冲瓶、排风设备以及压力监测设备和氮气补偿设备，所述压力监测设备与氮气补偿设备之间单向连接，所述第一气体缓冲瓶的一端与扩散炉石英管相连接，其特征在于第一气体缓冲瓶的另一端经由依次顺序连接的第二气体缓冲瓶，…，第N气体缓冲瓶之后与排风设备相连接，其中N＞2，各气体缓冲瓶之间、气体缓冲瓶与排风设备之间均通过连接管相连接；所述氮气补偿设备设于任一气体缓冲瓶上，所述压力监测设备设于氮气补偿设备所在的气体缓冲瓶之后的任一气体缓冲瓶上或气体缓冲瓶之间的连接管上。
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