[发明专利]利用数字光学技术的厚度检测装置及方法有效

专利信息
申请号: 201310311671.5 申请日: 2013-07-23
公开(公告)号: CN103579037A 公开(公告)日: 2014-02-12
发明(设计)人: 黄映珉;赵泰英;金侊乐 申请(专利权)人: SNU精度株式会社
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;G02B27/10
代理公司: 北京邦信阳专利商标代理有限公司 11012 代理人: 王昭林;毕长生
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明公开了一种利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。本发明的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法,包括:光源,用于放射光线;光分束器,用于反射从光源放射的光线或者通过被检测对象反射的光线;透镜部,用于将被光分束器反射的光线汇聚到检测对象;反射型光路变换部,用于有选择地反射从光分束器透射的光线;分光器,用于分析从反射型光路变换部反射的光线以获取所述检测对象的厚度信息。因此根据本发明,提供一种利用光线的反射能够使光损失最小化,并且能够同时检测多个检测区域厚度的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。
搜索关键词: 利用 数字 光学 技术 厚度 检测 装置 方法
【主权项】:
一种利用数字光学技术的厚度检测装置,其特征在于,包括:光源,用于放射光线;光分束器,用于反射从所述光源放射的光线或者通过被检测对象反射的光线;透镜部,用于将被所述光分束器反射的光线汇聚到检测对象;反射型光路变换部,用于有选择地反射从所述光分束器透射的光线;和分光器,用于分析从所述反射型光路变换部反射的光线获取所述检测对象的厚度信息。
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