[发明专利]中大口径光学元件非球面磨削面形精度高效在位检测方法

摘要

一种应用于中大口径光学元件非球面磨削面形精度高效在位检测方法，借助机床自身高精度导轨导向系统和高精度驱动系统，利用高精度测量仪器，对光学元件面形进行检测，光学元件装夹在主轴部件上，检测仪器吸附在Y导轨部件上面，检测杆固定在磁力支架上，调整磁力支架，使检测球头与光学元件接触，在Y导轨运动方向上通过光学元件的回转中心，数据采集系统有数据显示，使检测杆与光学元件轴线平行，实现检测头在检测运行过程中可以准确的显示光学元件面形变化；采用在位检测方法测量中大口径光学元件非球面的面形精度，根据面形精度的测量结果，补偿加工程序，进行再次磨削，直至磨削出合格的光学元件，明显提高磨削加工效率。

主权项

本发明提供一种中大口径光学元件非球面磨削面形精度高效在位检测方法，该方法是借助机床自身高精度导轨导向系统和高精度驱动系统，利用高精度测量仪器，对光学元件面形进行检测，在位检测装置由测量仪器和磨削机床构成，其中测量仪器含有：检测球头、检测杆、磁力支架和数据采集系统，磨削机床由X导轨部件、Y导轨部件、主轴部件、砂轮轴部件与转台轴部件组成；对光学元件磨削加工非球面面形进行在位检测时，其特征在于：检测仪器上的检测球头与光学元件表面接触，数据采集系统有数据显示，检测球头测量后，形成等距曲面，然后补偿检测球头半径拟合出测量非球面面形；其特征还在于：检测杆平行于光学元件轴线，检测球头球心在Y导轨运动方向上通过光学元件的回转中心检测面形；其特征还在于：中大口径光学元件非球面磨削加工后在位检测时，利用三点法来寻找检测球头与光学元件轴线同心点位置；其特征还在于：检测杆通过数据线与数据采集系统连接，将检测数据传输给数据采集系统。