[发明专利]CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的评价方法有效

专利信息
申请号: 201310315171.9 申请日: 2013-07-25
公开(公告)号: CN103395000A 公开(公告)日: 2013-11-20
发明(设计)人: 王佳;范斌;万勇建;施春燕;卓彬;孟凯 申请(专利权)人: 中国科学院光电技术研究所
主分类号: B24B49/00 分类号: B24B49/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 梁爱荣
地址: 610209 *** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的评价方法,所述方法的步骤如下:步骤S1:利用光学元件抛光前后的功率谱密度函数PSDbef、PSDaft,构建出平滑谱函数H与PSDaft、PSDbef的公式(1)PSDaft=(1-H)(1-H)*·PSDbef,其中(1-H)*为(1-H)的共轭,*为求共轭的运算符;步骤S2:根据复数运算法则,对公式(1)两边取模得到抛光后面形数据的功率谱密度函数表达式(2)PSDaft=|(1-H)|2·PSDbef;步骤S3:由于平滑谱函数H为去除函数归一化后的傅里叶变换,所以根据|H|<1,求解公式(2),构建出平滑谱函数H的公式(3)公式(3)将CCOS抛光工艺抑制不同频段误差的能力表示为频率的归一化函数,利用抛光前后得到的PSDbef、PSDaft计算平滑谱函数曲线,根据平滑谱函数曲线值的大小来评价CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的大小。
搜索关键词: ccos 抛光 工艺 抑制 不同 频段 误差 能力 评价 方法
【主权项】:
CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的评价方法,其特征在于所述评价方法的步骤如下:步骤S1:利用光学元件抛光前、抛光后的面形数据的功率谱密度函数PSDbef和PSDaft,构建出平滑谱函数与PSDaft、PSDbef的数学关系公式:PSDaft=(1‑H)(1‑H)*·PSDbef    (1)公式(1)中H为平滑谱函数即去除函数归一化后的傅里叶变换,(1‑H)*为(1‑H)的共轭,*为求共轭的运算符;步骤S2:根据复数运算法则,对公式(1)两边取模得到抛光后面形数据的功率谱密度函数的表达公式:PSDaft=|(1‑H)|2·PSDbef    (2)步骤S3:由于平滑谱函数H是去除函数归一化后的傅里叶变换,所以根据|H|<1,求解公式(2),解算出平滑谱函数H的表达公式: H = 1 - PSD aft PSD bef - - - ( 3 ) 则公式(3)将CCOS抛光工艺抑制不同频段误差的能力表示为频率的归一化函数,根据平滑谱函数曲线值的大小来评价CCOS抛光工艺抑制误差能力的大小。
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