[发明专利]CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的评价方法

摘要

本发明CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的评价方法，所述方法的步骤如下：步骤S1：利用光学元件抛光前后的功率谱密度函数PSD_bef、PSD_aft，构建出平滑谱函数H与PSD_aft、PSD_bef的公式(1)PSD_aft＝(1-H)(1-H)^*·PSD_bef，其中(1-H)^*为(1-H)的共轭，*为求共轭的运算符；步骤S2：根据复数运算法则，对公式(1)两边取模得到抛光后面形数据的功率谱密度函数表达式(2)PSD_aft＝|(1-H)|²·PSD_bef；步骤S3：由于平滑谱函数H为去除函数归一化后的傅里叶变换，所以根据|H|＜1，求解公式(2)，构建出平滑谱函数H的公式(3)公式(3)将CCOS抛光工艺抑制不同频段误差的能力表示为频率的归一化函数，利用抛光前后得到的PSD_bef、PSD_aft计算平滑谱函数曲线，根据平滑谱函数曲线值的大小来评价CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的大小。

主权项

CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的评价方法，其特征在于所述评价方法的步骤如下：步骤S1：利用光学元件抛光前、抛光后的面形数据的功率谱密度函数PSDbef和PSDaft，构建出平滑谱函数与PSDaft、PSDbef的数学关系公式：PSDaft＝(1‑H)(1‑H)*·PSDbef    (1)公式(1)中H为平滑谱函数即去除函数归一化后的傅里叶变换，(1‑H)*为(1‑H)的共轭，*为求共轭的运算符；步骤S2：根据复数运算法则，对公式(1)两边取模得到抛光后面形数据的功率谱密度函数的表达公式：PSDaft＝|(1‑H)|2·PSDbef    (2)步骤S3：由于平滑谱函数H是去除函数归一化后的傅里叶变换，所以根据|H|＜1，求解公式(2)，解算出平滑谱函数H的表达公式： H = 1 - PSD aft PSD bef - - - ( 3 ) 则公式(3)将CCOS抛光工艺抑制不同频段误差的能力表示为频率的归一化函数，根据平滑谱函数曲线值的大小来评价CCOS抛光工艺抑制误差能力的大小。