[发明专利]一种控制金属表面微纳米结构尺寸和分布的方法

摘要

本发明公开了一种控制金属表面微纳米结构尺寸和分布的方法。实现本发明利用脉宽15fs到5ps的超短脉冲激光所诱导的等离子体细丝直接辐照金属表面，通过控制超短脉冲激光参数及其丝在金属表面的扫描速度和扫描间距实现等离子体细丝对金属表面诱导微纳米结构尺寸和分布的控制：通过改变激光诱导等离子细丝的入射角度改变微纳米结构的朝向；通过改变激光的偏振态，实现对微纳米结构形状的控制。本专利提供了一种可用于优化设计太阳能吸收体等器件的方法。

主权项

一种利用改变诱导成丝的激光参数和扫描参数来控制金属表面微纳米结构尺寸和分布的方法，其特征在于，该方法由以下步骤组成：（1）超短脉冲激光经透镜聚焦或自由传输在空气中形成一段等离子体细丝；（2）利用波片实现对激光偏振态的控制，通过改变平移台固定角度或激光入射角度的方式来改变激光诱导等离子体细丝与样品表面的相对角度，通过电脑程序控制扫描间距和扫描速度；（3）采用控制光或样品进行相对运动的方式实现等离子体细丝在样品表面的辐照扫描加工，从而实现对表面微纳米结构尺寸和分布的控制。