[发明专利]转轴装置、托盘旋转机构及托盘传输方法

摘要

本发明提供一种转轴装置，该转轴装置包括：转轴，该转轴包括位于该转轴顶部的连接部；加热器，该加热器用于加热所述转轴的连接部，使得所述转轴的连接部能够受热膨胀。相应地，本发明还提供一种包括上述转轴装置的托盘旋转机构和一种托盘传输方法。本发明能够灵活地调节转轴与托盘接触的松紧，既能使转轴能够稳定地带动托盘旋转，又能使托盘便于拆卸，满足了半导体工艺设备中需要旋转托盘以及传输托盘的要求。

主权项

1.一种托盘旋转机构，该托盘旋转机构包括托盘和转轴装置，其特征在于，所述转轴装置包括转轴和加热器：所述转轴包括位于该转轴顶部的连接部；所述加热器仅设置于所述转轴的连接部的下端，用于加热所述转轴的连接部，使得所述转轴的连接部能够受热膨胀；所述托盘底部设置有凹槽，所述转轴的连接部设置在所述凹槽中，且所述连接部受热膨胀时能够与所述凹槽的内壁相接触并能够在所述转轴转动时带动所述托盘转动；所述转轴装置还包括冷却管，该冷却管设置于所述转轴内部，用于冷却所述转轴的连接部，使得所述连接部能够冷却收缩。