[发明专利]基于柔性衬底的微型三维电场传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201310318367.3 | 申请日： | 2013-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN103630762A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 夏善红;方奕庚;方东明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 戎志敏 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 种基于柔性衬底的微型三维电场传感器，包括：柔性衬底；多个敏感单元分别形成于所述柔性衬底上，折叠柔性衬底实现电场传感器的三维结构。本发明可测量空间电场的三维矢量，测量精度更加准确，并且具有质量轻、体积小的优点。另外，该三维电场传感器的制备工艺简单且成本低廉，有利于批量化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 柔性 衬底 微型 三维 电场 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于柔性衬底的微型三维电场传感器，包括：柔性衬底；多个敏感单元分别形成于所述柔性衬底上；折叠柔性衬底实现电场传感器的三维结构。
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