[发明专利]照明光学装置的制造方法、照明方法、曝光方法和装置制造方法

摘要

一种照明光学系统，其在来自光源（1）的光线的基础上对要照明的表面照明，所述照明光学系统具有：第一光学路径，衍射光学元件（6）可布置于其中的第一位置处；第二光学路径，具有二维地形成阵列且个别地加以控制的多个光学元件（3a）的空间光调制器（3）可布置于其中的第二位置处；和第三光学路径，其为已通过所述第一光学路径和所述第二光学路径中的至少一者的光线的光学路径且一种分布形成光学系统（11）布置于其中。所述分布形成光学系统（11）基于已通过所述第一光学路径和所述第二光学路径中的至少一者的光线而在位于所述第三光学路径中的照明光瞳上形成预定的光强度分布。

主权项

一种照明光学装置的制造方法，所述照明光学装置具备：为了以照明光照明设置于掩模的图案而配置在所述照明光的光学路径的光学积分器，以及配置在所述光学积分器的入射侧的所述光学路径的第一光学系统，其特征在于包括：将第二光学系统与所述第一光学系统进行交换，所述第二光学系统不同于所述第一光学系统；所述第一光学系统具备空间光调制器与衍射光学元件中的一个；以及所述第二光学系统具备所述空间光调制器与所述衍射光学元件中的另一个。