[发明专利]一种磺酸肟酯类光产酸剂有效
申请号: | 201310320709.5 | 申请日: | 2013-07-26 |
公开(公告)号: | CN103389621A | 公开(公告)日: | 2013-11-13 |
发明(设计)人: | 钱晓春;钱彬;胡春青;王兵;李军 | 申请(专利权)人: | 常州强力先端电子材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;C07D209/86;C07D405/06;C07D409/06;C07C323/47;C07C319/20 |
代理公司: | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人: | 杨采良 |
地址: | 213159 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: |
本发明公开一种如通式(I)所示的磺酸肟脂类光产酸剂,感光性能优异,可以很好地与i线和h线光源匹配,具有很高的感光灵敏度,性能明显优于现有的光产酸剂产品。 |
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搜索关键词: | 一种 磺酸肟酯类光产酸剂 | ||
【主权项】:
1.一种磺酸肟脂类光产酸剂,具有如通式(I)所示的结构:
其中,n=1-10,m=1-8;X为单键、
R1选自C1-C18的烷基磺酰基、苯基磺酰基或樟脑基磺酰基,任选地,这些磺酰基中的H原子可以各自独立地被下列基团取代:NO2、CN、卤素、C1-C18烷基、苯基、C3-C20的环烷基、C4-C20的环烷基烷基、和含有O、S、N原子的杂环基团;R2、R3、R4、R5和R6各自独立地表示氢原子、卤原子、或任选取代的C1-C12烷基、C1-C12烷氧基、C5-C8环烷基、C6-C20苯基、C7-C20苄基、C7-C20苯甲酰基、C2-C12烷酞基、C1-C20杂芳酞基、C3-C20烷氧羰基烷酰基、C8-C20苯氧碳基烷酰基、C3-C20杂芳氧羰基烷酰基、C2-C12烷氧羰基或苯氧羰基、或者-OR7、-SR8、-SOR8、-SO2R8或-NR9R10,条件是R2、R3、R4、R5和R6中至少一个选自-OR7、-SR8或-NR9R10,其中R7表示氢原子或任选取代的C1-C12烷基、C2-C8烷酰基、C3-C12链烯基、C3-C30烯酰基、C6-C20苯基、-(CH2CH2O)zH(z是1-20的整数)或C3-C15三烷基甲硅烷基,R8表示氢原子或任选取代的C1-C12烷基、C2-C8烷酰基、C3-C12链烯基、C6-C20苯基、C3-C15三烷基甲硅烷基,R9和R10各自独立地表示氢原子、、氧原子或任选取代的C1-C12烷基、C2-C4羟烷基、C3-C5链烯基或C6-C20苯基。
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