[发明专利]测量干燥率的设备及使用该设备测量干燥率的方法无效
| 申请号： | 201310320859.6 | 申请日： | 2013-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN103575732A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 田喜善;赵在春;张钟允;申东周;金成贤;李春根 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘奕晴;郭鸿禧 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种测量干燥率的设备及使用该设备测量干燥率的方法，以测量用于制造电子设备的基板材料的干燥率，测量干燥率的设备包括：支撑部分，在所述支撑部分上安放基板；标记部分，设置在基板上方同时能够竖直和水平地运动，并在与基板接触的同时在基板上形成标记。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 干燥 设备 使用 方法 | ||
【主权项】：
一种测量干燥率的设备，所述设备包括：支撑部分，在所述支撑部分上安放基板；标记部分，设置在基板上方且能够竖直和水平地运动，并在与基板接触的同时在基板上形成标记。
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