[发明专利]验收测试装置及一次性可编程器件的验收测试方法有效
| 申请号： | 201310321124.5 | 申请日： | 2013-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN103364706A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 奚凯华 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种验收测试装置及一次性可编程器件的验收测试方法中，采用了具有擦除区的验收测试装置，所述擦除区能够对经测试台测试后的待测晶圆进行紫外擦除，如此就不需要将晶圆搬运到专门的紫外区域，从而提高大大的提高了工作效率，也避免了由于搬运而可能导致的杂质产生这一问题，间接的提高了良率。 | ||
| 搜索关键词： | 验收 测试 装置 一次性 可编程 器件 方法 | ||
【主权项】：
一种验收测试装置，用于对待测晶圆进行测试，其特征在于，包括：标准机械接口，用于接收所述待测晶圆；至少一个机械臂，用于传输所述待测晶圆；测试台，用于对所述待测晶圆进行测试；及擦除区，所述擦除区用于对经测试台测试后的所述待测晶圆进行紫外擦除；其中，所述机械臂能够承载所述待测晶圆在所述标准机械接口、所述测试台及所述擦除区运动。
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