[发明专利]射频电源系统和利用射频电源系统进行阻抗匹配的方法在审
申请号: | 201310322341.6 | 申请日: | 2013-07-29 |
公开(公告)号: | CN104349567A | 公开(公告)日: | 2015-02-11 |
发明(设计)人: | 张璐 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
主分类号: | H05H1/46 | 分类号: | H05H1/46 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种射频电源系统,该射频电源系统包括射频电源、电连接在所述射频电源与等离子体腔室之间的自动阻抗匹配器,其中,所述射频电源的频率能够在最小预定频率和最大预定频率之间调节,通过调节所述射频电源的频率以及通过所述自动阻抗匹配器调节匹配网络的输入阻抗能够使得匹配网络的输入阻抗与所述射频电源的恒定输出阻抗相等。本发明还提供一种利用射频电源系统进行阻抗匹配的方法。利用本发明所提供的射频电源系统可以在较短的时间内即可达到阻抗匹配。 | ||
搜索关键词: | 射频 电源 系统 利用 进行 阻抗匹配 方法 | ||
【主权项】:
一种射频电源系统,该射频电源系统包括射频电源和电连接在所述射频电源与等离子体腔室之间的自动阻抗匹配器,其特征在于,所述射频电源的频率能够在最小预定频率和最大预定频率之间调节,通过调节所述射频电源的频率以及通过所述自动阻抗匹配器调节匹配网络的输入阻抗能够使得匹配网络的输入阻抗与所述射频电源的恒定输出阻抗相等。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司,未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310322341.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:柔性电路板及其制作方法
- 下一篇:线圈盘及其制造方法和具有该线圈盘的电磁炉