[发明专利]支撑高度可调式光学元件多点支撑结构

摘要

支撑高度可调式光学元件多点支撑结构，属于光机结构设计与装调领域，该结构包括光学元件、镜框和多个柔性支撑组件，所述多个柔性支撑组件均布固定在镜框内部圆周面上，所述光学元件设置在多个柔性支撑组件上；所述柔性支撑组件由柔性支撑块、微分头和恢复力弹簧组成，所述微分头固定在柔性支撑块上部，恢复力弹簧固定在柔性支撑块上部，且位于正对微分头的方向；柔性支撑块为平面柔性四连杆机构，当微分头水平运动时，通过柔性四连杆机构将水平运动转换成上部连杆的轴向运动，进而实现光学元件支撑面的轴向高度可调；本发明结构简单、加工方便、成本低，且满足了支撑高度一致性，适用于深紫外投影物镜中光学元件的检测支撑结构和工况支撑结构。

主权项

支撑高度可调式光学元件多点支撑结构，包括光学元件（1）、镜框（2）和多个柔性支撑组件（3）；其特征是，所述多个柔性支撑组件（3）均布固定在镜框（2）内部圆周面上，所述光学元件（1）设置在多个柔性支撑组件（3）上；所述柔性支撑组件（3）由柔性支撑块（3‑1）、微分头（3‑2）和恢复力弹簧（3‑3）组成，所述微分头（3‑2）固定在柔性支撑块（3‑1）上部，恢复力弹簧（3‑3）固定在柔性支撑块（3‑1）上部，且位于正对微分头（3‑2）的方向。