[发明专利]基于聚偏氟乙烯压电薄膜的光声气体传感装置有效
| 申请号： | 201310323602.6 | 申请日： | 2013-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN103411904A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 刘锟;高晓明;汪磊;谈图;张为俊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31 |
| 代理公司： | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人： | 任岗生 |
| 地址： | 230031*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于聚偏氟乙烯压电薄膜的光声气体传感装置。它由光源（1）和其光路（2）上的管状声学谐振腔（6），以及置于管状声学谐振腔（6）侧开口处的光声气体传感器，与光声气体传感器配接的调制解调部件组成，特别是管状声学谐振腔（6）的管长为20～150mm、管内径为3～10mm，管状声学谐振腔（6）侧的开口为与其相连通的小孔（4），其孔深为1.5～2.5mm、孔直径为1.5～2.5mm，光声气体传感器为聚偏氟乙烯压电薄膜（5），其膜平面与小孔（4）端平面的间距为0.1～3mm、输出端经前置放大器（7）与调制解调部件的锁相放大器（8）的输入端电连接。它具有结构简单、较宽的响应带宽和工作稳定的特点，可广泛地用于探测和确定气体浓度或化学成分。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 聚偏氟 乙烯 压电 薄膜 声气 传感 装置 | ||
【主权项】：
一种基于聚偏氟乙烯压电薄膜的光声气体传感装置，由光源（1）和其光路（2）上的管状声学谐振腔（6），以及置于管状声学谐振腔（6）侧开口处的光声气体传感器，与光声气体传感器配接的调制解调部件组成，其特征在于：所述管状声学谐振腔（6）的管长为20～150mm、管内径为3～10mm；所述管状声学谐振腔（6）侧的开口为与其相连通的小孔（4），其孔深为1.5～2.5mm、孔直径为1.5～2.5mm；所述光声气体传感器为聚偏氟乙烯压电薄膜（5），所述聚偏氟乙烯压电薄膜（5）的膜平面与小孔（4）端平面的间距为0.1～3mm，其输出端经前置放大器（7）与所述调制解调部件的锁相放大器（8）的输入端电连接。
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