[发明专利]飞秒激光直写蓝宝石环形光波导及其制备方法无效
| 申请号： | 201310325483.8 | 申请日： | 2013-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN103399377A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 王军利;吕志国;卜祥宝;朱江峰;魏志义 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/13;B23K26/36 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 田文英;王品华 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开一种飞秒激光直写蓝宝石环形光波导及其制备方法，所制备的蓝宝石环形光波导横截面为椭圆形，其导光部分是邻近飞秒激光作用区域200nm之内的三维环形。其制备方法包括：(1)光学抛光蓝宝石晶片；(2)清洗蓝宝石晶片；(3)将蓝宝石晶片置于三维微加工平台；(4)设定参数；(5)飞秒激光直写；(6)CCD实时监测；(7)通光测试；(8)判断在蓝宝石晶片特定位置是否形成三维环形光波导；(9)完成蓝宝石环形光波导的直写，获得蓝宝石环形光波导。本发明不仅可用于超高强度和超高温环境中传输光信号，而且制备的微米量级大小的环形光波导还可用于光学系统的集成。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 蓝宝石 环形 波导 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种飞秒激光直写蓝宝石环形光波导，其特征在于，所述的环形光波导是基于蓝宝石为寄主材料，其导光区域是邻近飞秒激光作用区域200nm之内的三维环形，其横截面为椭球形。
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