[发明专利]一种工业生产电子级硝酸的纯化系统有效
申请号: | 201310326737.8 | 申请日: | 2013-07-30 |
公开(公告)号: | CN103359698A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
发明(设计)人: | 殷福华;朱永刚;朱龙 | 申请(专利权)人: | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C01B21/46 | 分类号: | C01B21/46 |
代理公司: | 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人: | 杨新勇 |
地址: | 214400 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种工业生产电子级硝酸的纯化系统,对化工设备进行合理的组合,通过精馏、脱气等工序,提供一种效率高,安全性好,使工业硝酸最简单高效的纯化为1PPb级的高纯度硝酸的系统;通过对化工设备材质的选择使内部气体及液体的交换、扩散、传输等情况清晰可见,提高整个过程的透明度,安全性更高;设备所采用的低硼硅玻璃可降低电子级硝酸中系统无法出去的非金属硼及硅,提高硝酸的纯度,并且该材料热膨胀系数及热引力系数较高,可从0℃急剧升温至200℃以上而不受影响;并且本发明采用的精馏塔填料塔、预冷装置及脱气塔等反应塔直径均设置在16寸以上,完全可满足工业生产的需求,为整个工业生产电子级硝酸纯化技术打开了瓶颈。 | ||
搜索关键词: | 一种 工业生产 电子 硝酸 纯化 系统 | ||
【主权项】:
一种工业生产电子级硝酸的纯化系统,其特征在于,所述系统包括工业级硝酸储罐,所述工业级硝酸储罐通过气动隔膜泵与再沸器相连通,所述再沸器顶端与精馏填料塔底端相连接,所述精馏填料塔顶端与预冷装置一端相连接,所述预冷装置的另一端与脱气塔顶端相连接,所述脱气塔顶端设置有排气口,所述脱气塔底端与将二氧化氮气体吹出排气口的无油压缩机相连通,所述排气口通过废气管路与尾气冷凝塔相连通,所述脱气塔底端还与成品冷却装置相连接,所述成品冷却装置与电子级硝酸接收罐相连接,所述精馏填料塔和脱气塔内顶部设置有液体喷淋装置,所述尾气冷凝塔与废硝酸槽相连通,所述尾气冷凝塔与废硝酸槽之间设置有用于喷淋碱液的洗涤塔,所述再沸器底端也与所述废硝酸槽相连通。
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