[发明专利]一种电热膜及其制造方法在审
| 申请号： | 201310328025.X | 申请日： | 2013-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN103391650A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 吕强 | 申请（专利权）人： | 浙江哈尔斯真空器皿股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/12 | 分类号： | H05B3/12 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 321300 浙江省金*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电热膜及其制造方法，属于半导体发热技术领域，其主要采用四氯化锡、三氯化钛、三氯化锑、异丙醇、无水乙醇，经混合搅拌，在常温下制成电热膜施膜液，接着将载体送入550℃~650℃的炉膛内，采用气相沉积法中的热熔法（PS法）进行电热膜的实施成膜，然后在电热膜半成品上涂氧化银浆，经烧结形成银电极，即得电热膜成品。本发明最高工作温度630℃，性能稳定，应用范围广，制造方法简单、高效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电热 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种电热膜，其特征在于，由以下质量百分比的组分组成：A：四氯化锡 30%‑50%；B：三氯化钛 1%‑4%；C：三氯化锑 0.5%‑1.5%；D：异丙醇 3%‑6%；E：无水乙醇 余量。
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