[发明专利]准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置

摘要

本发明涉及一种准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置，包括底板、焊接波纹管、磁流体密封、活动板、导柱、电机、顶板、光栅尺、不锈钢丝绳、滑轮、配重、石英探棒、籽晶和坩埚系统。本发明结构合理，实现了在铸锭炉炉腔的高温及真空环境中，对籽晶的融化厚度进行监控测量，保证了对准单晶硅生产工艺的过程控制。

主权项

一种准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置，其特征在于：包括底板、焊接波纹管、磁流体密封、活动板、导柱、电机、顶板、光栅尺、不锈钢丝绳、滑轮、配重块、石英探棒、籽晶和坩埚系统；所述底板安装在炉体外壳上，底板两侧设有导柱，导柱上端设有连接顶板，导柱之间设有活动板，活动板中间设有磁流体密封，磁流体密封内部设有焊接波纹管；焊接波纹管下端与炉体连接，焊接波纹管的上端通过磁流体密封与电机连接；焊接波纹管内设有石英探棒，石英探棒下端伸入炉体内部，石英探棒的上端与电机的输出轴连接； 所述底板与顶板的一侧安装有光栅尺，光栅尺的读数头与活动板连接；所述顶板上设有滑轮，滑轮上设有钢丝绳，钢丝绳的一端与活动板连接，另一端连接有配重块。