[发明专利]一种扫描太赫兹时域光谱的光学装置、控制装置和系统

摘要

本发明公开了一种扫描太赫兹时域光谱的光学装置、控制装置和系统，以提高太赫兹光谱的扫描速度。该光学装置的特征是还包括第二直角棱镜和快速延迟线，第二直角棱镜包括第一反射面和与第一反射面垂直的第二反射面；第二直角棱镜用于通过第一反射面将第一反射镜反射到第一反射面的探测光反射至快速延迟线；快速延迟线用于接收到音圈电机控制器的控制信号后，在高速往复运动的同时将反射棱镜反射的探测光高速折返至第二反射面；第二直角棱镜还用于通过第二反射面将快速延迟线折返至第二反射面的光束反射至第三反射镜。本发明提供的扫描太赫兹时域光谱的系统大大提高了光谱扫描速度，可以完成大批量的扫描作业，从而能够满足实际工业应用的需求。

主权项

一种扫描太赫兹时域光谱的光学装置，包括飞秒激光器、第二反射镜、第三反射镜、太赫兹发射器、太赫兹探测器、第一太赫兹聚焦镜、第二太赫兹聚焦镜、第一直角棱镜、慢速延迟线、用于将所述飞秒激光器发出的激光束分成泵浦光和探测光的分束镜和用于将所述探测光反射出去的第一反射镜，其特征在于，所述光学装置还包括第二直角棱镜和快速延迟线，所述第二直角棱镜包括第一反射面和与所述第一反射面垂直的第二反射面；所述第二直角棱镜，用于通过所述第一反射面将所述第一反射镜反射到所述第一反射面的探测光反射至所述快速延迟线；所述快速延迟线，用于接收到音圈电机控制器的控制信号后，在高速往复运动的同时将所述第二直角棱镜反射的探测光高速折返至所述第二反射面；所述第二直角棱镜还用于通过所述第二反射面将所述快速延迟线折返至所述第二反射面的光束反射至所述第三反射镜；所述第三反射镜，用于将所述第二反射面反射的光束反射至所述太赫兹探测器，以使所述太赫兹探测器生成探测信号。