[发明专利]掩膜胶及其制备和使用方法有效

专利信息
申请号: 201310332051.X 申请日: 2013-08-02
公开(公告)号: CN103387782A 公开(公告)日: 2013-11-13
发明(设计)人: 章圆圆;区升举;张丽娟 申请(专利权)人: 常州时创能源科技有限公司
主分类号: C09D133/04 分类号: C09D133/04;C09D175/04;C09D175/14
代理公司: 南京汇盛专利商标事务所(普通合伙) 32238 代理人: 陈扬
地址: 213300 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种掩膜胶,其组分包括水溶性树脂、偶联剂、消泡剂和有机溶剂。本发明还提供用于制备上述掩膜胶的制备方法。本发明还提供上述掩膜胶的涂覆方法和固化方法。本发明提供的掩膜胶具有良好的耐酸性、易脱除性和环保性,完全符合制绒方法和其他方面的要求,并且固化时间短,脱胶要求低,脱胶速度快,具有较强的实用性,易于大规模工业化生产。采用本发明的掩膜胶,与其他工艺配合,可以获得新型结构的硅片。此外,本发明掩膜胶具有无毒性、无腐蚀性、无刺激性,对人体和环境无危害,并且掩膜胶配制和使用工艺简单,设备低廉,重复性好。
搜索关键词: 掩膜胶 及其 制备 使用方法
【主权项】:
掩膜胶,其特征在于,其组分包括水溶性树脂、偶联剂、消泡剂和有机溶剂。
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