[发明专利]一种曝光装置的内部框架结构有效
| 申请号： | 201310332055.8 | 申请日： | 2013-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN104345573B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 王茜;时燕;王璟;王天明;葛黎黎 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种曝光装置的内部框架结构，其特征在于，包括位于一支撑面上的吊框，该吊框上设置至少两个支腿，一主基板位于该支腿之上，该主基板上设置一相对隔离的照明支架以及掩模台支架。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 装置 内部 框架结构 | ||
【主权项】：
一种曝光装置的内部框架结构，其特征在于，包括：位于一支撑面上的吊框，所述吊框上设置至少两个支腿，一主基板位于所述支腿之上，所述主基板上设置有相对隔离的照明支架以及掩模台支架；所述主基板包括一上封板以及一下封板，所述上封板和下封板之间由筋板连接；所述筋板包括等高的外围筋板、内部筋板、圆环筋板和侧边筋板；所述外围筋板连接所述上封板和下封板的侧边；所述上封板的功能孔中心、圆环筋板中心和下封板的功能孔中心在X和Y向位置重合；所述内部筋板一端与所述外围筋板相连，另一端与所述圆环筋板相连；所述侧边筋板布置在所述上封板和下封板之间，连接在所述外围筋板上，位于所述外围筋板外侧。
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