[发明专利]一种紧凑型磁悬浮工作台的实验装置

摘要

一种紧凑型磁悬浮工作台的实验装置，包括定子部分和动子部分，所述定子部分包括底座和设置于底座上的圆筒形定子外罩，定子外罩顶端设置圆形顶盖；所述动子部分包括设置在定子外罩内的动子，动子上固定有支撑柱，支撑柱穿过顶盖，且支撑柱的顶部设置载物台；所述顶盖上设置用于竖直驱动的若干第一电磁铁和用于检测竖直方向位移的若干第一电涡流传感器，定子外罩侧壁上设置用于水平驱动的若干第二电磁铁和用于检测水平方向位移的若干第二电涡流传感器。本发明是适于精密定位的磁悬浮工作台的实验装置，满足超精密定位的需求而设计的，可以用于光刻机硅片台的定位，也可以用于激光加工或其他需要微动工作台的场合，尤其适用需要真空、无摩擦场合。

主权项

一种紧凑型磁悬浮工作台的实验装置，其特征在于，包括定子部分和动子部分，所述定子部分包括底座（12）和设置于底座（12）上的圆筒形的定子外罩（1），定子外罩（1）的顶端设置有圆形的顶盖（6）；所述动子部分包括设置在定子外罩（1）内的动子（9），动子（9）上固定有支撑柱（3），支撑柱（3）穿过顶盖（6），且支撑柱（3）的顶部设置载物台（4）；所述顶盖（6）上设置有用于在竖直方向上驱动动子（9）的若干第一电磁铁（2）和用于检测动子（9）竖直方向位移的若干第一电涡流传感器（5），定子外罩（1）侧壁上设置有用于在水平方向上驱动动子（9）运动的若干第二电磁铁（10）和用于检测动子（9）水平方向位移的若干第二电涡流传感器（8）。