[发明专利]微观几何形貌量测系统

摘要

一种微观几何形貌量测系统，用以量测试片的微观几何形貌。本发明的微观几何形貌量测系统包含第一扫描装置、第二扫描装置以及平坦基板。第一扫描装置的第一探针接触试片。第二扫描装置的第二探针接触平坦基板。第二扫描装置或平坦基板与第一扫描装置被同步致动，致使第一探针在试片上移动，第二探针在平坦基板上移动。试片的微观几何形貌为根据第一扫描装置的第一可枢转臂的第一位移以及第二扫描装置的第二可枢转臂的第二位移计算而得。

主权项

一种微观几何形貌量测系统，用以量测一试片的一微观几何形貌，所述微观几何形貌量测系统，其特征在于，包含：一第一扫描装置，包含一第一可枢转臂以及一第一探针，所述第一探针为连接至所述第一可枢转臂且接触所述试片的一量测表面，其中所述第一扫描装置被致动，致使所述第一探针在所述量测表面上移动；一第二扫描装置，包含一第二可枢转臂以及一第二探针，所述第二探针为连接至所述第二可枢转臂；一平坦基板，所述第二探针为接触所述平坦基板的一平坦表面，其中所述第二可枢转臂为操作性连接至所述第一可枢转臂，致使所述第二扫描装置与所述第一扫描装置被同步致动，让所述第二探针在所述平坦表面上移动；一第一位移感测装置，用以感测所述第一可枢转臂的一第一位移，以输出一第一信号；一第二位移感测装置，用以感测所述第二可枢转臂的一第二位移，以输出一第二信号；以及一处理单元，分别电连接至所述第一位移感测装置以及所述第二位移感测装置，根据所述第一信号以及所述第二信号计算所述试片的所述微观几何形貌。