[发明专利]基片架专用玻璃载具无效
| 申请号： | 201310334532.4 | 申请日： | 2013-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN103361617A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 郭祖华 | 申请（专利权）人： | 蚌埠雷诺真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人： | 张建宏 |
| 地址： | 233010 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明给出了一种基片架专用玻璃载具，包括两组框架组件和至少一个支撑杆，两组框架组件分别为第一框架组件和第二框架组件，第一框架组件和第二框架组件分别是由两个平行放置的框架杆构成，四个框架杆首尾相连构成闭合的平行四边形结构，所述的支撑杆两端分别固定在第一框架组件的两个框架杆上或第二框架组件的两个框架杆上，至少一组框架组件和至少一个支撑杆的材料为耐热金属材料。利用耐热金属材料替代原有材料，使得基片架专用玻璃载具在镀膜作业的环境下具有耐热性好、耐腐蚀性好，而且在生产加工中不会产生形变和裂纹。 | ||
| 搜索关键词： | 基片架 专用 玻璃 | ||
【主权项】：
基片架专用玻璃载具，包括两组框架组件和若干个支撑杆，两组框架组件分别为第一框架组件和第二框架组件，第一框架组件和第二框架组件分别是由两个平行放置的框架杆构成，四个框架杆首尾相连构成闭合的平行四边形结构，每个支撑杆两端分别固定在第一框架组件的两个框架杆上或第二框架组件的两个框架杆上，第一框架组件、第二框架组件和支撑杆端面上有载物槽口，其特征在于：至少一组框架组件和至少一个支撑杆的材料为耐热金属材料。
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