[发明专利]一种紫铜水冷盘及其制造工艺

摘要

本发明公开了一种连接强度高，连接后承重能力强，整体结构稳定，能保证密封性的紫铜水冷盘及其制造工艺，现有技术紫铜水冷盘因焊接性能差导致难以较好的连接，或是即使连接密合了，也因焊接处机械性能差而导致易损坏、不能保证密封性的不足。所述的一种紫铜水冷盘，包括上盘体、与上盘体对应的下盘体，进水口、出水口，水冷盘体内设有曲折的通水管路，下盘体的边壁上设有凹槽，上盘体的边壁上设有通槽，通槽贯穿上盘体，通槽、凹槽通过浇入其中的金属液冷凝后形成的熔合连接块互相连接。本发明适用于以往单晶硅生长炉冷却装置所适用的场合，具有整体结构稳定，抗压能力强，熔合连接块强度高，不易变形断裂等优点。

主权项

一种紫铜水冷盘，其特征是，包括水冷盘体，所述的水冷盘体包括上盘体、与上盘体对应的下盘体，进水口(1)、出水口(2)，所述的上盘体上表面为冷却接触面，所述的水冷盘体内设有曲折的通水管路，所述的通水管路连通进水口(1)、出水口(2)，所述的下盘体的边壁(4)上设有凹槽，所述的上盘体的边壁(4)上设有与凹槽对应的通槽，所述的通槽贯穿上盘体上、下表面，所述的通槽、凹槽通过浇入其中的金属液冷凝后形成的熔合连接块互相连接，所述的上盘体、下盘体之间也通过熔合连接块与外界隔绝密封。