[发明专利]太阳电池阵用玻璃盖片的制备方法

摘要

本发明涉及一种太阳电池阵用玻璃盖片的制备方法，包括在复数个长方形玻璃衬底一面依次蒸镀氟化镁薄膜、ITO薄膜，在ITO薄膜上蒸镀电极后制成的单体玻璃盖片，用互联条将复数个单体玻璃盖片串联成一体，其特点是：在氟化镁薄膜上蒸镀纳米级ITO薄膜、对ITO薄膜进行退火处理。本发明采用全自动电子束加热真空蒸镀机，通过精确控制ITO材料的加热温度、蒸发速率和充氧含量，在氟化镁薄膜上蒸镀出厚度为纳米级的ITO薄膜，既保护了电池阵，使其不受恶劣环境的侵害，又不影响电池阵的光电转换效率；通过对ITO薄膜进行退火处理，确保了ITO薄膜与氟化镁薄膜之间的结合能力，ITO薄膜不脱落，提高了ITO薄膜的牢固度。

主权项

太阳电池阵用玻璃盖片的制备方法，包括在复数个长方形玻璃衬底一面蒸镀氟化镁薄膜、在氟化镁薄膜上蒸镀ITO薄膜、在ITO薄膜上蒸镀电极后制成的单体玻璃盖片，用互联条将复数个单体玻璃盖片串联成一体，其特征在于：ITO薄膜制作过程包括：⑴ITO置入坩埚，坩埚置入蒸发器中，采用全自动电子束加热真空蒸镀机，设置蒸发器的加热温度250‑300℃、蒸发速率0.5‑0.8nm/s、充氧含量30‑50mbar，ITO材料在氟化镁薄膜上蒸镀出8‑15nm厚的ITO薄膜；⑵将蒸镀有ITO薄膜的玻璃衬底放在加热炉的托盘中，在大气中进行200‑350℃、30‑40min的退火处理，自然冷却到室温。