[发明专利]垂直型薄膜热电器件的热电臂阵列的制作方法和制作装置有效
| 申请号： | 201310337004.4 | 申请日： | 2013-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN104347789B | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 王汉夫;官爱强;褚卫国 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | H01L35/34 | 分类号： | H01L35/34 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司11283 | 代理人： | 王崇,刘国平 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种垂直型薄膜热电器件的热电臂阵列的制作方法和制作装置，包括步骤一制作镂空掩模板（9、10、11、12），该镂空掩模板的镂空图案用于限定薄膜热电器件的热电臂阵列的至少部分图案，将衬底（8）固定在衬底托（7）上；步骤二在衬底托和镂空掩模板上分别形成位置相对的至少一套定位孔（13a‑13e），每套定位孔中包括至少三个定位孔，通过在定位孔上放置定位滚珠（14）以将镂空掩模板间隔地定位安装在衬底托上；步骤三将衬底托和镂空掩模板装夹固定，利用物理气相沉积技术并透过镂空掩模板在衬底上完成镂空图案的沉积制作。热电器件的图形由多块镂空掩模板实现，利用了滚珠精确定位，高效且方便。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 薄膜 热电器件 热电 阵列 制作方法 制作 装置 | ||
【主权项】：
一种垂直型薄膜热电器件的热电臂阵列的制作方法，其特征在于，该制作方法包括：步骤一：制作镂空掩模板(9、10、11、12)，该镂空掩模板的镂空图案用于限定所述垂直型薄膜热电器件的热电臂阵列的至少部分图案，并且将衬底(8)固定在衬底托(7)上；步骤二：在所述衬底托(7)和镂空掩模板(9、10、11、12)上分别形成位置相对的多套定位孔(13a‑13e)，每套所述定位孔中包括至少三个尺寸相同的定位孔，并且各套所述定位孔的尺寸不同，通过在所述定位孔(13a‑13e)上放置相应大小的定位滚珠(14)以将所述镂空掩模板(9、10、11、12)间隔地定位安装在所述衬底托(7)上以适应不同厚度的所述衬底(8)；步骤三：将所述衬底托(7)和镂空掩模板(9、10、11、12)装夹固定，利用物理气相沉积技术并透过所述镂空掩模板(9、10、11、12)在所述衬底(8)上完成该镂空掩模板(9、10、11、12)的镂空图案的沉积制作；步骤四：更换所述镂空掩模板(9、10、11、12)并定位，重复步骤三，直至完成所述薄膜热电器件的热电臂阵列的整个图案的沉积制作；其中，用于形成所述垂直型薄膜热电器件的热电臂阵列的图案的所述镂空掩模板(9、10、11、12)为多块。
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