[发明专利]用于超大口径光学加工的静压支撑装置有效

专利信息
申请号: 201310339253.7 申请日: 2013-08-06
公开(公告)号: CN103394983A 公开(公告)日: 2013-11-20
发明(设计)人: 胡海飞;罗霄;郑立功;张学军 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: B24B13/005 分类号: B24B13/005
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 陶尊新
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明提供一种用于超大口径光学加工的静压支撑装置,属于静压支撑技术领域。该装置包括活塞、垫片、滚动膜片、膜片压片、缸体盖、缸体径向限位结构、丝堵、受力体径向限位结构、密封圈和缸体上限位结构,所述的活塞侧表面设置水平竖直式中心孔,缸体径向限位结构与活塞的垂直中心孔连接,垫片与缸体盖通过滚动膜片连接,滚动膜片设置膜片压片,活塞通过螺孔与滚动膜片和膜片压片连接,缸体盖顶部中心设置沉孔、螺纹盲孔和排气孔,受力体径向限位结构设置在缸体盖的沉孔内,缸体上限位结构与垫片连接,丝堵设置在螺纹盲孔内,用于压紧置于螺纹盲孔中的密封圈。该装置自平衡性好、成本低、具有较高的光学加工支撑精度。
搜索关键词: 用于 超大 口径 光学 加工 静压 支撑 装置
【主权项】:
用于超大口径光学加工的静压支撑装置,其特征在于,该装置包括活塞(1)、垫片(2)、滚动膜片(3)、膜片压片(4)、缸体盖(5)、缸体径向限位结构(6)、丝堵(7)、受力体径向限位结构(8)、密封圈(9)和缸体上限位结构(11),所述的活塞(1)侧表面设置水平竖直式中心孔,缸体径向限位结构(6)为凸台通孔结构,缸体径向限位结构(6)与活塞(1)的水平竖直式中心孔中的垂直中心孔连接,活塞(1)与垫片(2)相接触,垫片(2)与缸体盖(5)通过滚动膜片(3)连接,滚动膜片(3)设置膜片压片(4),活塞(1)通过螺孔与滚动膜片(3)和膜片压片(4)连接,缸体盖(5)顶部中心从上到下依次设置沉孔、螺纹盲孔和排气孔,受力体径向限位结构(8)设置在缸体盖(5)的沉孔内并与缸体盖(5)柱面配合,缸体上限位结构(11)与垫片(2)的下端面连接,丝堵(7)设置在螺纹盲孔内,用于压紧置于螺纹盲孔中的密封圈(9),所述的活塞(1)的水平竖直式中心孔、垫片(2)的中心、缸体径向限位结构(6)中心的凸孔与缸体盖(5)的沉孔在一个同心轴上,所述的活塞(1)、滚动膜片(3)、膜片压片(4)、缸体盖(5)、丝堵(7)和密封圈(9)构成密闭腔体。
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