[发明专利]10～100μm固体薄膜厚度的测量方法及装置有效
| 申请号： | 201310343976.4 | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103398662A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 李胜利;崔雪英;敖青 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 杨琪 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了10～100μm固体薄膜厚度的测量方法及装置，利用两片氧化铝陶瓷夹片夹住裸露的薄膜或涂覆于基底上的薄膜，用继电器或铷铁硼磁铁固定以夹具夹持的氧化铝陶瓷夹片，并置于维式硬度计的显微镜下观察，氧化铝陶瓷夹片竖直放置，由于薄膜与氧化铝陶瓷夹片或基底之间的衬度差异，利用显微镜的微分头读出两片氧化铝陶瓷夹片之间的距离或靠近薄膜两侧的氧化铝陶瓷夹片与基底一侧之间的距离，即为薄膜厚度。本发明利用显微镜的微分头直接读数，准确度高，操作简单，其测量精度可到0.5～1μm。本发明对于固体薄膜厚度测量方法简单，装置易操作，精确度高，既可工业使用也可实验室使用。 | ||
| 搜索关键词： | 10 100 固体 薄膜 厚度 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
10～100μm固体薄膜厚度的测量方法，其特征在于，利用两片氧化铝陶瓷夹片夹住裸露的薄膜或涂覆于基底上的薄膜，用继电器或铷铁硼磁铁固定以夹具夹持的氧化铝陶瓷夹片，并置于维式硬度计的显微镜下观察，氧化铝陶瓷夹片竖直放置，所述薄膜与氧化铝陶瓷夹片或基底之间存在衬度差异，利用显微镜的微分头读出两片氧化铝陶瓷夹片之间的距离或靠近薄膜两侧的氧化铝陶瓷夹片与基底一侧之间的距离，即为薄膜厚度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东大学，未经山东大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310343976.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
