[发明专利]一种用于电子束加工的电磁偏转扫描线圈无效
| 申请号： | 201310346506.3 | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103406657A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 彭勇;王晓宇;周绮;王克鸿;左从进;许海鹰;石美玲;张海宁;钱红丽;杨立 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | B23K15/00 | 分类号： | B23K15/00 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱显国 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于电子束加工的电磁偏转扫描线圈。该电磁偏转扫描线圈包括磁芯骨架和线圈绕组（9），其中磁芯骨架包括一体成型的磁环（7）和磁极（8），线圈绕组（9）分别绕制于磁芯骨架的各个磁极（8），磁极（8）的数量为4N个且N为大于等于3的整数，所述磁芯骨架的磁极（8）为软磁材料。这种结构的电磁偏转扫描线圈提高了电子束偏转扫描磁场的均匀性，减小了线圈的尺寸和重量，节约了制造成本，此外采用软磁材料提高了电子束的偏转扫描频率，降低了涡流损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电子束 加工 电磁 偏转 扫描 线圈 | ||
【主权项】：
一种用于电子束加工的电磁偏转扫描线圈，其特征在于，包括磁芯骨架和线圈绕组（9），其中磁芯骨架包括一体成型的磁环（7）和磁极（8），线圈绕组（9）分别绕制于磁芯骨架的各个磁极（8），磁极（8）的数量为4N个且N为大于等于3的整数。
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