[发明专利]电感耦合等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201310346837.7 | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103917037B | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 崔智淑;李昌根 | 申请（专利权）人： | 丽佳达普株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及的电感耦合等离子体处理装置，包括：腔室，在内部形成有工艺空间；源线圈，设在电介质窗外部的上侧，所述电介质窗设置在所述工艺空间的上部；接地板，设在所述源线圈和所述盖部之间，并形成有设置孔，经接地处理；可变电容器控制装置，以贯穿所述设置孔的方式安装，并与所述源线圈连接，用于控制阻抗，通过所述接地板形成接地；本发明涉及的电感耦合等离子体处理装置，通过电机精密地控制连接于各源线圈而用于调节阻抗的可变电容器的动作，以便对多个源线圈有效地进行阻抗控制，此外，具有能够对多个可变电容器进行精确地自动控制的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种电感耦合等离子体处理装置，其特征在于，包括：腔室，在内部形成有工艺空间；源线圈，设在电介质窗外部的上侧，所述电介质窗设置在所述工艺空间的上部；盖部，设在所述源线圈的上部；接地板，设在所述源线圈和所述盖部之间，并形成有设置孔，且处于接地状态；可变电容器控制装置，以贯穿所述设置孔的方式安装，通过所述接地板形成接地，其中，所述可变电容器控制装置包括：可变电容器，连接于所述源线圈，用于控制阻抗；电机，使所述可变电容器自动旋转；外部编码器，用于检测所述电机的旋转，其中，所述可变电容器控制装置通过比较所述外部编码器输出的输出值与所述电机的输入的脉冲值来判断所述电机是否发生失步。
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