[发明专利]检查装置、照明、检查方法、以及基板的制造方法无效
| 申请号： | 201310347390.5 | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103592308A | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 井户胜也;千贺大辅 | 申请（专利权）人： | 索尼公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;H05K13/08 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供可以高精度地检测附着在检查对象物的检查面上的异物的检查装置、照明、检查方法、以及基板的制造方法。本技术涉及的检查装置具备以10度以下的照射角度向检查对象物的检查面照射含有蓝色或紫色波长范围的成分的光的照明。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 照明 方法 以及 制造 | ||
【主权项】：
一种检查装置，具备：以10度以下的照射角度向检查对象物的检查面照射含有蓝色或紫色波长范围的成分的光的照明。
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