[发明专利]多边缘的图案化

摘要

本发明提供了一种具有多个亚分辨率元件的对准标记。每个亚分辨率元件具有小于能被对准工艺中的对准信号检测到的最小分辨率的尺寸。也提供了一种其上具有第一、第二和第三图案的半导体晶圆。第一和第二图案在第一方向上延伸，以及第三图案在垂直于第一方向的第二方向上延伸。通过在第二方向上测量的第一距离将第二图案与第一图案分离。通过在第一方向上测量的第二距离将第三图案与所第一图案分离。通过在第一方向上测量的第三距离将第三图案与第二图案分离。第一距离约等于第三距离。第二距离小于第一距离的两倍。本发明同样涉及了一种多边缘的图案化。

主权项

一种半导体器件，包括：形成在半导体晶圆上的第一图案，所述第一图案沿第一方向延伸；形成在所述晶圆上的第二图案，所述第二图案沿所述第一方向延伸并与所述第一图案分离在垂直于所述第一方向的第二方向上测量的第一距离；以及形成在所述晶圆上的第三图案，所述第三图案与所述第一图案分离在所述第一方向上测量的第二距离，所述第三图案与所述第二图案分离在所述第一方向上测量的第三距离；其中：所述第一距离约等于所述第三距离；以及所述第二距离小于两倍的所述第一距离。