[发明专利]固态摄像装置的制造方法

摘要

本发明提供一种固态摄像装置的制造方法，能够防止在形成偏移间隔层时对硅基板的蚀刻损伤，抑制像素晶体管的噪声的产生和光电转换部的白点的产生。在半导体基板（11）上形成覆盖经由逻辑电路部（14）的晶体管的第1栅绝缘膜（31N、31P）形成的第1栅电极（32N、32P）、经由像素晶体管部（12）的第2栅绝缘膜（51）形成的第2栅电极（52）、浮动扩散部的形成区域（AFD）和光电转换部（21）的第1绝缘膜（71）后，在用掩模（83）覆盖光电转换部（21）、像素晶体管部（12）和浮动扩散部的形成区域（AFD）的状态下，对第1绝缘膜（71）进行回蚀，从而在第1栅电极（32N、32P）的侧壁上形成偏移间隔层（33）。

主权项

一种固态摄像装置，包括：半导体基板；逻辑电路部，具有第1栅电极；像素部，具有多个像素单元，每个像素单元包含至少一个第2栅电极；第1栅绝缘膜，形成在所述逻辑电路部中的第1栅电极与所述半导体基板之间；第2栅绝缘膜，形成在所述像素部中的第2栅电极与所述半导体基板之间；第1绝缘膜，覆盖第1栅电极和第2栅电极；以及偏移间隔层，位于第1栅电极的侧壁上，所述偏移间隔层是通过对第1栅电极上的第1绝缘膜进行回蚀而形成的。