[发明专利]飞焦级脉冲激光光源

摘要

本发明公开了一种飞焦级脉冲激光光源，包括激光器、准直镜、分束镜、监视能量计、起偏器组件、固定衰减器组件、参考能量计、可变衰减器、扩束镜和计算机，激光器发出的光经准直镜后成为平行光，此平行光被分束镜分成两束，其中反射光束被监视能量计接收和探测，计算机根据监视能量计的探测值判断激光器是否稳定出光，透射光束镜经起偏器组件和固定衰减器组件后成为衰减线偏振光，衰减线偏振光通过透过率由计算机控制的可变衰减器衰减到要求的能量值，最后由扩束镜输出。本发明解决了计量测试中模拟远距离漫反射回波信号的难题，所提供的模拟光束具有能量均匀、稳定的特点。

主权项

一种飞焦级脉冲激光光源，包括激光器(1)、准直镜(2)和含有多个中性衰减片固定衰减器组件(6)，其特征在于，还包括分束镜(3)、监视能量计(4)、含有步进电机和偏振片的起偏器组件(5)、放置在一维平台上的参考能量计(7)、可变衰减器(8)、扩束镜(9)和计算机(10)；激光器(1)是线偏振光脉冲激光器，输出能量范围是1mJ～10mJ；监视能量计(4)和参考能量计(7)的最低能量探测值为500fJ；当参考能量计(7)在一维平台带动下进入光路时，接收固定衰减器组件(6)送出的透射光束并将探测值送给计算机(10)；激光器(1)发出的激光经准直镜(2)成为平行光束，该平行光束经分束镜(3)分成反射光束和透射光束，监视能量计(4)探测反射光束并将探测值送给计算机(10)，起偏器组件(5)将透射光束转换成线偏振光，线偏振光经过固定衰减器组件(6)的其中一个中性衰减片后，由可变衰减器(8)衰减，衰减光束再由扩束镜(9)扩束后供给外部设备使用；计算机(10)中装有飞焦光源采集控制软件包和用于控制可变衰减器(8)的衰减控制模块，飞焦光源采集控制软件包含有采集模块、存储模块、控制模块、计算模块和显示模块，采集模块采集监视能量计(4)和参考能量计(7)的探测数值并将采集的数值送入存储模块，控制模块的功能是：控制伺服电机转动使相应的中性衰减片进入光路，当查询到激光束稳定标志时，使最大透过率的中性衰减片进入光路，在计算模块计算出透过率期望值q时，控制透过率值与该透过率期望值q最接近的中性衰减片进入光路；在光路调试或出光模式下，控制一维平台带着参考能量计(7)进入光路或退出光路；在参考能量计(7)采样期间，控制步进电机沿同一方向按步长运动，每当步进电机运动一个步长时控制采集模块读取参考能量计(7)的探测值并存储，对存储的探测值进行比较判定，当一个探测值比其前一个探测值和后一个探测值都大时，则判定该探测值为最大探测值并记为Q，控制步进电机停止在最大探 测值Q所对应的位置上；计算模块的功能是，计算监视能量计当前周期的探测信号平均值Ek，并与前一周期的探测信号平均值Ek‑1进行比较，当|Ek‑Ek‑1|

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