[发明专利]用于光刻设备的调焦调平检测装置及方法有效
| 申请号： | 201310349765.1 | 申请日： | 2013-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN104375383B | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 唐平玉;陈飞彪;徐荣伟;刁雷 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;G01M11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于光刻设备的调焦调平检控系统，包括光源、调焦调平检测装置和调焦调平控制装置；该光源经光纤接口耦合进入该调焦调平检测装置；该调焦调平检测装置，用于检测对象的垂直位置和倾斜度；该调焦调平控制装置，用于根据该调焦调平检测装置所获得的探测信号，驱动控制该对象的承载器的垂向位置和倾斜度；该调焦调平检测装置在光刻设备的投影物镜的镜筒内部。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 设备 调焦 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于光刻设备的调焦调平检控系统，包括：光源、调焦调平检测装置和调焦调平控制装置；所述光源发出的光束经光纤接口耦合进入所述调焦调平检测装置；所述调焦调平检测装置，用于检测对象的垂向位置和倾斜度；所述调焦调平控制装置，用于根据所述调焦调平检测装置所获得的探测信号，驱动控制所述对象的承载器的垂向位置和倾斜度；其特征在于，所述调焦调平检测装置在光刻设备的投影物镜的镜筒内部；所述调焦调平检测装置包括：照明组件、梯度折射率透镜和探测组件；所述照明组件，用于将经所述光纤接口耦合进入的光束，经所述梯度折射率透镜成像至一对象表面形成一聚焦光点，所述聚焦光点反射后至所述探测组件形成一成像光点，所述聚焦光点与所述成像光点形成一共轭关系；所述梯度折射率透镜与所述光刻设备的投影物镜共用所述光刻设备的投影物镜的至少一个透镜。
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