[发明专利]图像传感器中的部分埋入式沟道传送装置有效

专利信息
申请号: 201310350125.2 申请日: 2013-08-13
公开(公告)号: CN103730397B 公开(公告)日: 2016-08-31
发明(设计)人: 陈刚;戴幸志;毛杜立;傅振宏 申请(专利权)人: 全视科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L27/146
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 齐杨
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 本申请案涉及一种图像传感器中的部分埋入式沟道传送装置。图像传感器像素包含光敏元件、浮动扩散“FD”区域及传送装置。所述光敏元件安置于衬底层中以用于响应于光而积累图像电荷。所述FD区域安置于所述衬底层中以从所述光敏元件接收所述图像电荷。所述传送装置安置于所述光敏元件与所述FD区域之间以将所述图像电荷从所述光敏元件选择性地传送到所述FD区域。所述传送装置包含栅极、埋入式沟道掺杂剂区域及表面沟道区域。所述栅极安置于所述光敏元件与所述FD区域之间。所述埋入式沟道掺杂剂区域经安置而邻近于所述FD区域且在所述栅极下方。所述表面沟道区域安置于所述埋入式沟道掺杂剂区域与所述光敏元件之间且安置于所述栅极下方。
搜索关键词: 图像传感器 中的 部分 埋入 沟道 传送 装置
【主权项】:
一种图像传感器像素,其包括:光敏元件,其安置于衬底层中以用于响应于光而积累图像电荷;浮动扩散“FD”区域,其安置于所述衬底层中以从所述光敏元件接收所述图像电荷;及传送装置,其安置于所述光敏元件与所述FD区域之间以将所述图像电荷从所述光敏元件选择性地传送到所述FD区域,所述传送装置包含:栅极,其安置于所述光敏元件与所述浮动扩散区域之间;埋入式沟道掺杂剂区域,其经安置而邻近于所述FD区域且在所述栅极下方;及表面沟道区域,其安置于所述埋入式沟道掺杂剂区域与所述光敏元件之间且安置于所述栅极下方,其中所述埋入式沟道掺杂剂区域的长度与所述表面沟道区域的长度的比率经调谐以在所述光敏元件接近全容量且所述传送装置关断时允许电子从所述光敏元件穿通到所述埋入式沟道掺杂剂区域。
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