[发明专利]红外半导体激光器有源区、半导体激光器及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201310351168.2 申请日: 2013-08-13
公开(公告)号: CN103401144A 公开(公告)日: 2013-11-20
发明(设计)人: 赵勇明;董建荣;李奎龙;孙玉润;曾徐路;于淑珍;赵春雨;杨辉 申请(专利权)人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
主分类号: H01S5/343 分类号: H01S5/343
代理公司: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 代理人: 杨林;马翠平
地址: 215123 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种红外半导体激光器的有源区,所述有源区包括量子阱结构,所述量子阱结构中势阱层的材料为InmGa1-mAs1-nBin,所述量子阱结构中势垒层的材料为InxGa1-xAs1-yBiy,其中m=0.48~0,n=0.04~0.34;x=0.48~0.54,y=0.04~0。本发明采用InxGa1-xAs1-yBiy材料作为半导体激光器有源区的材料,基于晶格匹配生长,能够兼容DBR、DFB及垂直腔面发射激光器等其它类型激光器结构,且激光器采用无Al结构提高了器件的性能及寿命。本发明还提供了半导体激光器及其制作方法。
搜索关键词: 红外 半导体激光器 有源 及其 制作方法
【主权项】:
一种红外半导体激光器的有源区,其特征在于,所述有源区包括量子阱结构,所述量子阱结构中势阱层的材料为InmGa1‑mAs1‑nBin,所述量子阱结构中势垒层的材料为InxGa1‑xAs1‑yBiy,其中m=0.48~0,n=0.04~0.34;x=0.48~0.54,y=0.04~0。
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