[发明专利]同性气体的输送系统无效
| 申请号： | 201310354362.6 | 申请日： | 2013-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN104373811A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 胡昌勇;何先明;王汉刚 | 申请（专利权）人： | 上海聚鼎半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/00 | 分类号： | F17C7/00;F17C13/04;F17C13/02 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 曾少丽 |
| 地址： | 201600 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了同性气体的输送系统，包括第一输送装置，所述的输送系统还包括第二输送装置和第三输送装置，第一输送装置与第二输送装置相连、第二输送装置与第三输送装置相连。本发明提供的同性气体的输送系统，整体空间缩小，彻底消除安全隐患，实现连续供气，提高产品质量和工艺的稳定性，大大降低生产和物流成本。 | ||
| 搜索关键词： | 同性 气体 输送 系统 | ||
【主权项】：
同性气体的输送系统，包括第一输送装置，其特征在于：所述的输送系统还包括第二输送装置和第三输送装置，第一输送装置与第二输送装置相连、第二输送装置与第三输送装置相连。
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