[发明专利]微波窗和根据雷达原理工作的填充状态测量系统

摘要

本发明涉及一种微波窗和根据雷达原理工作的填充状态测量系统，具体而言，说明和示出了一种用于在空间上压力密封且防扩散地分隔且以微波来连接第一腔室(2)与第二腔室(3)的微波窗(1)，带有具有彼此相对而置的两个侧部(6,7)的、微波可至少部分地穿透的屏障物(8)。本发明的目的在于提出一种微波窗，其使得能够可靠地闭合工艺腔室且实现精确的测量。对于所讨论的微波窗(1)，该目的由此实现，即屏障物(8)设计成盘状，并且在屏障物(8)的至少一个侧部(6,7)上布置有包括基本上均匀的主体的、平凸的非传导性的至少一个透镜(9)。此外，本发明涉及一种根据雷达原理工作的填充状态测量系统。

主权项

1.一种用于在空间上压力密封且防扩散地分隔且以微波来连接第一腔室(2)与第二腔室(3)的微波窗(1)，带有具有彼此相对而置的两个侧部(6,7)的、微波可至少部分地穿透的屏障物(8)，其中，在所述屏障物(8)的至少一个侧部(6,7)上布置有包括均匀的主体的且至少部分地包含塑料的、平凸的非传导性的至少一个透镜(9)，其特征在于，所述屏障物(8)设计成盘状并且至少部分地包括玻璃。